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 | 摩擦なしサーボ |
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| ・ | 1nmの分解能と0.3nmのフィードバックを持った全空気静圧式「摩擦なしサーボシステム」を搭載しています。
| | ・ | 6,400万パルス超高分解能パルスコーダと空気静圧式ACサーボモータにより、1nm単位の位置決めと滑らかな送りを実現しました。 |
| ・ | 送りサーボモータはほぼ±2nm以下で追従します。 | | |  |
| 多彩な加工機能 |
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| ・ | 超精密旋盤の骨格をベースにし、ビルディングブロック構成と豊富なオプションにより、同時5軸の超精密ナノ加工に対応できます。 |
| ・ | 空気軸受と空気タービン主軸により単結晶ダイヤモンドエンドミルを駆動し、超精密マニシングセンタとして多軸ミーリング加工ができます。 |
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