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| マイクロ光造形法に用いられる装置です。マイクロカンチレバーやマイクロ流路などのマイクロデバイスの製作に使われます。この装置は、新規のマイクロデバイスの開発やタンパク質相互作用の研究、超小型バイオセンサーの製作への応用が可能です。 |
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 | フェムト秒レーザーによる200nm以下の微細加工が可能 |
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| 3次元光造形、細胞加工、流路加工などに利用可能 |
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| 波長 750nm±10nm |
| 外部から調整を加えることなく波長シフトが可能で、パルス幅100フェムト秒以内、最大出力0.7W |
| セラミック系材料（アルミナ、サファイア、シリコンなど） |
| 2軸ガルバノミラーによる高速走査（XY方向）応答周波数2kHz以上 |
| ピエゾ素子による精密位置決め（Z軸）500μmストローク、分解能3nm |
| 小型レーザーヘッド 23×14×5インチ、59×35×12cm |
| 対物レンズ 100倍、NA1・3 |
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| 設置場所： バイオナノテクノロジーセンター（片柳研究所棟6階） |
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