装置構成

バイオナノテク関連装置

触針式表面形状測定装置（表面粗さ計）（Dektak8）
触針式表面形状測定装置（表面粗さ計）（Dektak8）
コンパクトなベンチトップデザインを採用した8インチウェーハ対応の触針式表面形状測定器です。ユニークなオーバーヘッド式のプログラマブルX,Yステージにより、測定位置をプログラムすれば最高200ポイントまで自動測定が可能です。
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触針式表面形状測定装置（表面粗さ計）（Dektak8）の特長
直径200mm面内の任意ポイント（最高200点）を自動測定
オーバーヘッド式X,Y ドライブとベンチトップデザインの採用でコンパクト化を実現
サンプル観察用に低倍率と高倍率の2 つのカメラを標準装備
直径200mm以下の基板上に形成された膜圧段差、表面形状、あらさ、うねりの測定
触針式表面形状測定装置（表面粗さ計）（Dektak8）の主な仕様
弁解能/測垂直定レンジ1Å/65kÅ、10Å/655kÅ、40Å/2620Å
測定長さ50μm〜50mm（オプション：100mm）
最大サンプリングデータ数30,000 点
触針圧1〜15mg（オプション：0.03mg）
サンプルステージサイズ直径210mm ステージ移動：X200mm、Y200mm（以上電動プログラマブル）、シータ360°
自動多点測定数：最高200点
サンプル観察トップビュー（低倍率カラー）10mm、サイドビュー（高倍率カラー）1mm
設置場所： バイオナノテクノロジーセンター（片柳研究所棟6階）
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