![マスクアライナー〈ミカサ製〉](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/parts_c/06_T.gif) | ![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/pixel.gif) |
![マスクアライナー〈ミカサ製〉](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/parts_c/06_photo.jpg) |
半導体製造のホトリソ工程においてシリコンウエーハ、ガラスなどの基板に対して、高精度に製作されたマスクガラスのパターンをミクロレベルの精度で位置合わせとパターン焼付けを行う装置です。
| |
| | | | |
![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/pixel.gif) |
![マスクアライナー〈ミカサ製〉の特長](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/Label_tokutyou.gif) |
![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/pixel.gif) |
![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/point_gray.gif) | マルチミラーランプハウス採用による均一性の高い照度分布 |
| ![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/Dot_line625.gif) |
![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/point_gray.gif) | 各種自動機構部により操作性が向上 |
| ![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/Dot_line625.gif) |
![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/point_gray.gif) | デジタルマイクロメーター表示によるZ軸制御(ソフトコンタクト可) |
| ![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/Dot_line625.gif) |
![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/point_gray.gif) | 二視野顕微鏡採用による、スピーディーで正確なアライメント |
| ![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/Dot_line625.gif) |
![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/point_gray.gif) | 試料はφ4インチ・厚みは最大2mm、マスクは5インチ角まで対応
| | ![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/Dot_line625.gif) |
![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/point_gray.gif) | 水銀灯500W光源
| | ![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/Dot_line625.gif) |
![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/point_gray.gif) | 装置寸法:7000W×800D×650H(mm)
重量180kg | | ![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/Dot_line625.gif) |
![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/point_gray.gif) | 専用架台:1000W×800D×650H(mm)
重量110kg | | ![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/Dot_line625.gif) |
| | |
|
![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/pixel.gif) |
設置場所: バイオナノテクノロジーセンター(片柳研究所棟6階) |
| ![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/pixel.gif) |
|
![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/pixel.gif) |
![Adobe Reader ダウンロードページへ](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/getAcrobat.gif) |
![](/karl/bionano/bionano2/data/Equipment/_res/Dot_line635.gif) |
|